微机电系统有哪些分类 微机电系统的特点是什么

微机电系统，简称MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems），指的是微米级别下制造的微型电子机械系统。它集成了微型传感器、微处理器和微机械构件等多种功能单元，具有体积小、功耗低、可靠性高、成本低等特点，被广泛应用于物联网、医疗设备、安防系统、智能家居等领域。

1.微机电系统的分类

按照不同的分类方法，微机电系统可以分为以下几类：

• 按工作原理分类：压力式、容积式、惯性式、光学式、生化式等。
• 按运动方式分类：平移式、旋转式、弯曲式、振荡式等。
• 按应用场景分类：加速度计、陀螺仪、血压计、麦克风、投影仪等。

2.微机电系统的特点

微机电系统具有以下几个显著的特点：

1. 体积小：由于采用微米级制造工艺，微机电系统可以制作成极小的尺寸。
2. 低功耗：微机电系统由于工作电压比较低，所以功率消耗也较低，延长了电池寿命。
3. 高精度：微机电系统采用全部微米级制造工艺，大大提高了精度。
4. 可靠性高：微机电系统主要用于刚性物体之间的相对运动测量，其结构简单、不易损坏，从而保证了其可靠性。
5. 成本低廉：微机电系统采用批量生产方式，可以在同一个晶圆上同时制造多个芯片，从而降低成本，逐渐被广泛应用。