最近,荷兰政府撤回了在2023年对NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统出货的许可。荷兰此举是在与美国政府进行沟通后做出的举措。有媒体在报道中称此事件为突发事件,但事实上,这是早就定调的事情,按照原本的许可,是截止到23年9月,之后延到24年1月1日。
在这几个月中,国内厂商抓住窗口期,已经采购了一批设备。从数据上看,2023年1季度和2季度,中国市场的销售额占ASML整体销售额的比重分别为24%和8%,但到了3季度,比重增长至46%。很明显,国内企业在政策窗口期抓紧采购设备。
从过去的一系列事件看,荷兰政府和ASML显然是想做生意的,不过,美国手牵北约缰绳,且ASML光刻机的光源等核心设备来自美国,荷兰政府必须屈从与国际政治。
从ASML的公开消息看,这次的出口管制规则,只限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV浸润式光刻机。换言之,只有被美国列入实体清单的晶圆厂会被限制,那些未被列入实体清单的晶圆厂不在出口限制的行列。
这么一来,根本无法阻断ASML光刻机流向中国大陆,这种出口限制到底能发挥多少作用是一个未知数。
就行业影响而言,像中芯国际这样的大厂,在此前就已经采购了大批设备,如果真的无法继续采购先进DUV光刻机,无法是产能扩建受影响,只要把已有的设备用好,把良率提升上来,把N+2工艺的良率达到台积电同等工艺的水平,对国内IC设计行业而言就是重大利好。至于大陆晶圆厂产能扩建,完全可以交给其他不在实体清单内的公司来完成。
总结一下,撤回出口许可既无法禁止光刻机流向中国大陆,也无法阻止大陆晶圆厂提升工艺和良率,更无法阻止大陆扩建晶圆厂提升产能,只是个别进入实体清单的公司无法扩建产能,因而对大陆IC制造行业影响有限。